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更新時間:2026-04-02
瀏覽次數(shù):289在半導體設備精密傳動系統(tǒng)中,聯(lián)軸器作為連接伺服電機與執(zhí)行機構(gòu)的核心部件,其性能直接決定設備的定位精度、運行穩(wěn)定性與長期可靠性。德國Jakob Antriebstechnik GmbH推出的MJT?C 20?B微型彈性體聯(lián)軸器,憑借側(cè)向夾緊中心設計與精密工藝,適配半導體設備高轉(zhuǎn)速、高精度、小空間的嚴苛工況,成為晶圓加工、芯片封裝、SMT貼片機等核心設備的優(yōu)選傳動方案。

一、產(chǎn)品核心定位與設計理念
MJT?C 20?B屬于德國Jakob微型彈性體聯(lián)軸器系列,專為低扭矩、高精度、高轉(zhuǎn)速驅(qū)動系統(tǒng)設計,核心定位是解決半導體設備中伺服/步進電機與編碼器、數(shù)控機床軸、機器人關節(jié)等精密部件的傳動痛點。其側(cè)向夾緊中心設計(Radial Clamping Hub)打破傳統(tǒng)軸向安裝局限,通過徑向單螺絲夾緊實現(xiàn)無鍵槽連接,既避免對軸材的損傷,又大幅簡化安裝與維護流程,同時依托彈性體爪式結(jié)構(gòu)實現(xiàn)無背隙、減振、電絕緣三重核心特性,契合半導體設備的工況要求。
二、側(cè)向夾緊中心設計:結(jié)構(gòu)原理與技術優(yōu)勢
(一)核心結(jié)構(gòu)解析
MJT?C 20?B的側(cè)向夾緊中心設計由鋁合金輪轂、紅色PUR彈性體、徑向夾緊機構(gòu)三部分構(gòu)成。輪轂采用陽極氧化工藝處理,兼具輕量化與耐腐蝕性,適配半導體潔凈車間環(huán)境;彈性體為高彈性聚氨酯材質(zhì)(98 Sh?A),既保證扭轉(zhuǎn)剛性,又具備優(yōu)異的減振與緩沖能力;徑向夾緊機構(gòu)采用單螺絲鎖緊結(jié)構(gòu),無需鍵槽即可實現(xiàn)與軸的緊密連接,中心定位精度達0.01mm級,從結(jié)構(gòu)源頭保障傳動精準性。
(二)關鍵技術優(yōu)勢
1. 無背隙傳動,保障納米級定位
精密加工的輪轂與彈性體爪式結(jié)構(gòu)實現(xiàn)零背隙配合,扭轉(zhuǎn)剛度達1.0×10?³ Nm/arcmin,可精準傳遞高速旋轉(zhuǎn)運動,無角度滯后問題。在半導體設備貼裝、鉆孔等納米級定位工序中,能有效避免定位偏差,確保芯片、晶圓加工精度,助力提升產(chǎn)品良率。
2. 側(cè)向夾緊,適配狹小安裝空間
區(qū)別于傳統(tǒng)軸向夾緊結(jié)構(gòu),側(cè)向夾緊無需預留軸向拆裝空間,適配半導體設備內(nèi)部緊湊的安裝布局(設備徑向空間受限場景尤為適用)。單螺絲徑向夾緊設計可實現(xiàn)快速拆裝,且不傷軸材,大幅縮短設備維護停機時間,降低運維成本,契合半導體設備高稼動率的需求。

三、核心技術參數(shù):精準匹配半導體設備工況
MJT?C 20?B的核心技術參數(shù)經(jīng)過精準優(yōu)化,可匹配半導體設備的嚴苛傳動需求:傳動性能方面,額定扭矩達2 Nm,轉(zhuǎn)速可達20000 min?¹,能夠適配伺服/步進電機低扭矩、高轉(zhuǎn)速的傳動需求,滿足半導體設備高速貼裝、快速響應的作業(yè)要求;尺寸規(guī)格上,外徑僅20 mm、總長30 mm、質(zhì)量僅16 g,輕量化、小型化設計可適配微型精密設備,同時降低負載慣性,提升設備動態(tài)響應速度;標準孔徑覆蓋3-10 mm(H8公差),兩端可配置不同孔徑,靈活匹配電機軸、編碼器軸等不同規(guī)格軸徑,兼容性突出;
四、半導體設備典型應用場景與價值
(一)晶圓加工設備
在晶圓切片、研磨、蝕刻等工序中,MJT?C 20?B連接伺服電機與精密旋轉(zhuǎn)平臺,憑借無背隙傳動特性,保障晶圓定位精度達微米級,配合高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定運轉(zhuǎn),避免加工過程中晶圓偏移、破損,提升晶圓加工良率。側(cè)向夾緊設計適配設備內(nèi)部狹小的傳動空間,簡化設備結(jié)構(gòu)設計,同時免維護特性滿足24小時連續(xù)作業(yè)需求。
(二)芯片封裝設備
芯片鍵合、塑封、測試等環(huán)節(jié)對傳動精度與穩(wěn)定性要求高,MJT?C 20?B可精準傳遞微小扭矩,無背隙設計確保鍵合位置精準無誤,避免芯片偏移;電絕緣特性有效防止靜電擊穿芯片,保障封裝成品率。其輕量化設計降低負載慣性,適配高速封裝流水線的快速節(jié)拍需求。
(三)半導體檢測設備
在晶圓外觀檢測、芯片電性測試等設備中,MJT?C 20?B連接精密旋轉(zhuǎn)平臺與檢測探頭,無背隙傳動確保檢測位置精準,避免漏檢、誤檢;低轉(zhuǎn)動慣量(7.5×10?? kgm²)設計提升設備響應速度,適配快速檢測需求,助力實現(xiàn)半導體產(chǎn)品全流程質(zhì)量管控。
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